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硅片抛光液
我公司以自主研发生产的高纯二氧化硅磨料为基础开发出SW-1002硅片粗抛光用抛光液,此款抛光液稀释比高、抛光后表面易清洗。
产品被广泛应用于集成电路衬底制造中。

性能指标

检测项目

检测方法

指标值

外观

目测

乳白色液体

固含量(%)

重量法

40±2

pH值(20℃)

pH计

11.5-12.5

粒径(nm)

激光粒度分析仪

80±10

大颗粒数(parts/ml)

大颗粒计数器

﹤1000000

包装方式

20L蓝色塑料桶包装,每桶可装25kg;也可按客户要求包装。